제품모델	형식	상용하중범위(kgf)	최대상용압력(kgf/cm²)	최대상용변위(mm)	고유진동수(Hz)	치수(mm)					제품중량(kg)
						D1	D2	H	M	L
SRMAS-048R	A	20~120	6	±3	2~3	100	80	100	M12	100	3.5
SRMAS-096	A	60~400	6	±3	2~3	160	140	90	M10	100	9
SRMAS-180R	B	500~1,500	6	±3	2~3	Φ240	Φ207	160	M20	60	8
SRMAS-180S	B	500~1,500	6	±3	1~2	Φ240	Φ190	300	M20	60	15
SRMAS-240R	B	1,000~3,000	6	±3	2~3	Φ300	Φ273	165	M20	60	14
SRMAS-240S	B	1,000~3,000	6	±3	1~2	Φ300	Φ226	310	M20	60	21

제품특성

• 공기의 압력을 유지하고, 하중을 지지하는 Membrane, 공기를 담는 Main & Sub Tank, 감쇠 특성을 얻기 위한 Orifice,
    수평을 자동으로 조절할 수 있는 Leveling Valve로 구성
• 고유진동수가 최저 1.2Hz로서 뛰어난 최고 99%의 제진효율
• AUTO LEVLE CONTROLLER에 의해 10㎛ 의 정밀한 수평을 조절

적용범위

• 정밀 측정장비 : 전자현미경(SEM, TEM, STM), 광학현미경, 삼차원측정기, 조도계, 경도계
• 반도체 제조장비 : Assembly & FAB Equipment
• 검사 장비 : LCD, 반도체, PCB, Film
• 정밀 가공장비 : 레이져, Jig Boring Machine, CNC Grinding machine
• 자동화 부품관련 시험 장비