Model	SRVIT-MAS	SRVIT-BAS	SRVIT-AM	SRVIT-IR
Isolator	Membrane Air Spring	Bellows Air Spring	Air Mount	Isolation Rubber
Natural Frequency	1.2 ~ 2.5Hz	2.0 ~ 5.0Hz	4.0 ~ 8.0 Hz	6 ~ 10 Hz
Damping method	Air Damping by orifice		Air Damping	Rubber Damping
Leveling method	Auto Leveling by Mechanical Valve		Manual Leveling
Weight on board	500 ~ 2,000kg	200 ~ 500kg	200 ~ 5,000kg	100 ~ 2,000kg
Table Dimension (W×D×H)	1000*700*200(Negotiable)
Total Height	800mm(Negotiable)
Isolation Performance At Driven 15Hz	Over 95%	Over 90%	Over 60%	Over 20%
Cost	high		Medium	Low
Note	상시 Air 공급 필요 주기적 유지 보수 필요		공기 1회 주입으로 장시간(6개월이상) 사용 가능	유지 보수 필요 없음

제진대란?

제진대는 진동으로부터 취약한 정밀장비(Aliner, Stepper, SEM, TEM, AFM, CMM, PDP)가 외부 진동의 영향으로 장비 고유의 기능이 저하됨을 방지하기 위해 외부 진동을 차단하고 피치 못하게 발생하는 상부 동하중에 의한 진동도 제어 가능한 것이다.

구조와기능

① 정반(Surface Plate)	정반은 사용 용도에 따라 정밀한 광학 실험을 위한 Honeycom구조로 제작된 Honeycom 정반과 정밀 측정 및 검사를 위한 석정반으로 크게 나눌 수 있다.
② 방진재(Isolator)	Isolator는 얇은 막(Membrane)을 채용한 Membrane Air spring이 대표적이며, 수평조절이 필요 없는 곳은 경제성을 고려하여 Air Mount, 방진고무의 채용도 가능하다.
③ 레벨링 밸브(Leveling Valve)	Leveling Valve는 정반에 편심외력이 가해지거나, 정반위에 장착된 기기의 이동 등으로 인한 수평의 변화를 자동으로 조절해 주는 밸브이다.(수평을 항상 일정하게 유지)
④ 오리피스(Orifice)	Orifice는 방진재(Membrane Air Spring)와 ⑤의 보조탱크 사이에 가는 구멍으로 정반에 외력이 가해지거나, 하중 이동 시 발생하는 정반의 진동을 신속하게 감쇠 시켜 주는 역할을 한다.
⑤ 보조탱크(Sub Tank)	Sub Tank는 공기스프링의 스프링 상수는 공기 체적에 반비례하는 특징이 있으므로 전체 공기스프링의 체적을 크게 하여 낮은 고유진동수를 통해 제진 성능을 향상시키는 역할을 한다.

작동원리의 이해

① 수평 유지의 작동 원리
정반에 가해지는 편심 외력, 기기의 이동, 기기의 작동 등으로 인해 수평의 변화가 발생하게 되면, 하기의 외란(하중 가함)과 외란(하중 제거)의 운동을 반복하면서 일정한 수평을 유지하게 된다.

• 외란(하중 가함) -> 레벨링 밸브 작동 -> Sub tank 공기 공급 -> Sub Tank는 Orifice 통해 Membrane Air Spring에 공기 공급 ->
    Membrane Air Spring 외란 지지

• 외란(하중 제거) -> 레벨링 밸브 작동 -> Sub tank 공기 제거-> Sub Tank는 Orifice 통해 Membrane Air Spring의 공기 제거 ->
    Membrane Air Spring 외란 지지

② 낮은 고유 진동수와 감쇠 기능의 원리
제진대에 적용되는 Membrane Air Spring은 공기의 압축되는 성질을 이용한 것으로 일반적인 형상은 아래의 Schematic diaphragm과 같다. 공기스프링의 고유진동수는 식 (1)과 같다.

F=1/2π√(n·Pi·S²·g/W(Vm + Vs))      (1)

where, n : Specific heat rate
Pi : Internal pressure
S : Effective area
W : Weight of surface plate & equipment
Vm : Volume of main tank
Vs : volume of sub tank
g : Gravity acceleration

식(1)과 같이 고유진동수는 내부압력, 유효수압 면적의 제곱에 비례하고, 공기스프링이 지지하는 하중과 공기스프링의 체적에는 반 비례함을 알 수 있다. Orifice의 직경은 공기스프링의 동특성(고유진동수, 감쇠비)에 영향이 크므로 설치되는 기기의 특성을 고려하여 최적값을 적용하는 것이 매우 중요하며, 직경이 커지면 스프링 강성이 낮아지는 특성이 있고, 최적의 감쇠비(Damping ratio)가 나타내는 점은 존재한다.

제품특성

• 고유진동수가 최저 1.2Hz로 95% 이상의 제진 효율
• U형 스프링채용으로 수직/수평 제진 성능 우수
• 레벌링 밸브의 Direct 구동으로 안정화 시간이 짧음
• 하니콤 광학정반   고정밀 석정반 채용
• 자동 수평 조절 기능

적용범위

• 정밀 측정장비 : 전자현미경(SEM, TEM, STM), 광학현미경, 삼차원측정기, 조도계, 경도계
• 반도체 제조장비 : Assembly & FAB Equipment
• 검사 장비 : LCD, 반도체, PCB, Film
• 정밀 가공장비 : 레이져, Jig Boring Machine, CNC Grinding machine
• 자동화 부품관련 시험 장비

정밀기기의 지반진동 파악
(절대적 진동량, 위치 별 진동 편차, 탁월 주파수)

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지반진동이 정밀기기 제작업체가
제시한 허용진동의 초과 여부 확인

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제진 필요 시 진동원에 따른 최적의 제진 시스템 구축( Surface Plate Design, Isolator selection, Orifice & Tank Design

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제진 효과 및 성능 확인

Dynamic Characteristic Test (Natural frequency, Damping ratio)